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洁净室和高效过滤器的密封技术分类
洁净室和高效过滤器的密封是确保洁净室洁净度的关键因素之一。因此,在设计洁净室时就应该选择先进的密封技术和可靠的密封方法,一般常用的密封方法有:
1. 接触填料密封:密封用填料有固体密封垫(如氯丁橡胶板、闭孔海绵橡胶板等)和液体密封胶(如:硅橡胶、氯丁橡胶、天然橡胶)。固体密封垫一般采用螺栓机械压紧,橡胶板的压缩量为30%~50%。液体密封胶时用填充和粘附方法密封。
2.液槽刀口密封:在槽型框架中注入一定高度的密封液体,高效过滤器的刀口插入密封液中,使两侧的空气通路受阻达到密封目的。该方法一般用于100级、10级和更高级别洁净度的洁净室密封。
3.负压泄漏密封:这种“密封”方法是利用正压空间泄漏的空气,人为疏导到工作区外的负压空间,确保工作区不受污染。一般用于小规模的洁净室密封,如负压顶棚。
(参考高效过滤器:http://www.rfilter.com/)
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