超净工作台配套高效过滤器测试操作规程

1准备工作

卸下高效过滤器的散流板，对箱体和框架的外表面进行清洁，避免积尘对检测产生干扰。

关闭洁净室（区）的防火报警装置，避免测试期间因烟雾泄漏造成误会。

确定上游浓度验证孔。

准备好惰性气体的气源（通常使用氮气或者压缩空气）。

高效过滤器的完整性测试文章参考：http://www.rfilter.com/article/20120430224152.html

2气溶胶烟雾的引入

    向4B气溶胶发生器中加入适量PAO液体，连接气源，找到风机的吸风口处，通过发烟管直接将气溶胶通过吸风口送到高效过滤器上游；打开发生器开关，打开气源，气源压力调到20psig－30psig,调节气溶胶烟雾的输出量。

3　0基准和100%基准的设定

确认光度计选择阀处在CLEAR的位置。将电源开关设置到1（On）的位置，按ENTER键，设置零基准线。

采样管穿过验证孔，一端与上游（高效过滤器进风侧）采样口连接，另一端与气溶胶光度计接通。光度计选择阀拨到UPSTREAM位置，测定上游气溶胶浓度。调节气溶胶发生器输出阀的开合度，直至确认上游浓度达到20-80μg/L，并保持相对稳定。按100键，然后按ENTER键，设定100%基准。

100%基准线成功设置之后，＜0＞指示灯将闪烁，表明0%基准线必须进行校正。将选择阀设置到CLEAR，并按ENTER键，0%基准线得到校正。

4光度计扫描

选择阀转向＜DOWNSTREAM＞，将矩形采样头与光度计连接，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架间进行扫描。扫描速率＝15÷扫描探头垂直扫描方向的尺寸。

扫描时速度约2cm/s，扫描按直线来回往复地进行，扫描的覆盖面之间略有重叠。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器周边、过滤器边框与安装架构之间的密封处及安装架构的结合点。

任何等于或大于已指定限值的迹象时，都应将扫描探头在相应位置持续相当时间，凭借该位置较长时间内显示的最大值做出判断。

原始记录上画出示意图，标明泄漏位置和最大泄漏值。

注意：扫描过程中避免箱体上的积灰干扰，采样头不能碰到高效风口箱体或过滤器的框架。

在扫描工作中间及最后，核查上游气溶胶浓度，以确定其稳定性。当上游气溶胶浓度变化超过±15%时，重新设定100%基准，并追溯检查。