千级洁净室标准规格说明（一） 

  目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。

  至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。

洁净度等级

微尘粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

单位

单位

单位

单位

单位

公制

英制

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

M1

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3530000

100000

24700

700

M7

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

  美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m³）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。

粒径级数

Class1

Class2

Class3

Class4

Class5

Class6

Class7

Class8

0.1

10¹

10²

10³

10⁴

10⁵

10⁶

10⁷

10⁸

0.2

2

24

236

2，360

23，600

-

-

-

0.3

1

10

101

1，010

10，100

101，000

1，010，000

10，100，000

0.5

-

-

35

350

3，500

35，000

350，000

3，500，000

5.0

-

-

-

-

29

290

2，900

29，000

资料来源：Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

洁净室标准规格说明（二）

  在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*10³ 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

等级

微尘粒径(um)

与别国等级比较

0.5

1

5

美国

法国

3

4*10³

1*10³

-

100

4000

4

4*10⁴

1*10⁴

0.03*10⁴

-

-

5

4*10⁵

1*10⁵

0.03*10⁵

10000

400000

6

4*10⁶

1*10⁶

0.03*10⁶

100000

4000000

表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ft³）（以0.5u粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6

等级

Class1

Class10

Class100

Class1000

Class10，000

Class100，000

0.1

35（1，225）

350（12，250

-

-

-

-

0.2

7.5（263）

75（2，630）

750（26，300）

-

-

-

0.3

3（105）

30（1，050）

300（10，500）

-

-

-

0.5

1（35）

10（350）

100（3，500）

1000（35，000）

10，000（350，000）

100，000（3，500，000）

5.0

-

-

-

7

70

700

*（）内之数值单位：个/M³。

日本

美国

级别3

Class 1

级别4

Class 10

级别5

Class 100

级别6

Class 1000

级别7

Class 10000

级别8

Class 100000

  除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。

国名

美国

美国

日本

英国

德国

法国

澳洲

韩国

中国大陆

规格

FS209D

FS209E

JIS B 9920

BS 5295

VDI 2083

AFN 4410

AS 1386

KS

QJ2214

年度

1988

1992

1989

1989

1990

1981

1989

1991

1991

基准粒子(um)

0.5

0.5

0.1

0.5

1

0.5

0.5

0.3

0.1 0.5

单位

pcs/ft³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

Class

-

-

1

-

-

-

-

M1

0.1um ~1

-

M1

2

-

0

-

-

M10

0.1um ~5

1

M1.5

3

C

1

-

0.035

M100

0.1um ~10

10

M2.5

4

D

2

-

0.35

M1000

1

100

M3.5

5

E or F

3

4,000

3.5

M10000

100

1000

M4.5

6

G or H

4

-

35

M100,000

1,000

10,000

M5.5

7

I

5

400,000

350

M1,000,000

10,000

100,000

M6.5

8

J

6

4,000,000

3500

M10,000,000

100,000

-

M7

-

K

7

-

-

-

-

-

-

-

L

-

-

-

-

-

*以0.5um为区别。